1. Memuat
Tempatkan wadah kuarsa berlapis di atas meja penukar panas, tambahkan bahan baku silikon, kemudian pasang peralatan pemanas, peralatan insulasi dan penutup tungku, evakuasi tungku untuk mengurangi tekanan dalam tungku menjadi 0,05-0,1mbar dan pertahankan vakum. Perkenalkan argon sebagai gas pelindung untuk menjaga tekanan dalam tungku pada dasarnya sekitar 400-600mbar.
2. Pemanasan
Gunakan pemanas grafit untuk memanaskan badan tungku, pertama-tama uapkan kelembapan yang teradsorpsi pada permukaan bagian grafit, lapisan insulasi, bahan baku silikon, dll., lalu panaskan perlahan hingga suhu wadah kuarsa mencapai sekitar 1200-1300℃. Proses ini memakan waktu 4-5 jam.
3. Mencair
Perkenalkan argon sebagai gas pelindung untuk menjaga tekanan dalam tungku pada dasarnya sekitar 400-600mbar. Tingkatkan daya pemanasan secara bertahap untuk menyesuaikan suhu dalam wadah menjadi sekitar 1500℃, dan bahan baku silikon mulai meleleh. Simpan sekitar 1500℃selama proses peleburan hingga peleburan selesai. Proses ini memakan waktu sekitar 20-22 jam.
4. Pertumbuhan kristal
Setelah bahan baku silikon meleleh, daya pemanasan dikurangi hingga suhu wadah turun menjadi sekitar 1420-1440℃, yang merupakan titik leleh silikon. Kemudian wadah kuarsa secara bertahap bergerak ke bawah, atau perangkat insulasi secara bertahap naik, sehingga wadah kuarsa perlahan-lahan meninggalkan zona pemanasan dan membentuk pertukaran panas dengan lingkungan; pada saat yang sama, air dilewatkan melalui pelat pendingin untuk mengurangi suhu lelehan dari bawah, dan silikon kristal pertama kali terbentuk di bagian bawah. Selama proses pertumbuhan, antarmuka padat-cair selalu sejajar dengan bidang horizontal sampai pertumbuhan kristal selesai. Proses ini memakan waktu sekitar 20-22 jam.
5. Anil
Setelah pertumbuhan kristal selesai, karena gradien suhu yang besar antara bagian bawah dan atas kristal, tekanan termal mungkin terjadi pada ingot, yang mudah pecah lagi selama pemanasan wafer silikon dan persiapan baterai. . Oleh karena itu, setelah pertumbuhan kristal selesai, ingot silikon disimpan mendekati titik leleh selama 2-4 jam agar suhu ingot silikon seragam dan mengurangi tekanan termal.
6. Pendinginan
Setelah ingot silikon dianil di dalam tungku, matikan daya pemanas, naikkan perangkat insulasi panas atau turunkan sepenuhnya ingot silikon, dan masukkan aliran besar gas argon ke dalam tungku untuk secara bertahap menurunkan suhu ingot silikon hingga mendekati suhu kamar; pada saat yang sama, tekanan gas di dalam tungku secara bertahap meningkat hingga mencapai tekanan atmosfer. Proses ini memakan waktu sekitar 10 jam.
Waktu posting: 20 Sep-2024
